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防松螺母濺射鍍膜的工藝特點及應用
防松螺母濺射鍍膜的工業(yè)應用是與其具有的特點分不開的，綜合各種濺射鍍膜方法，濺射鍍膜有如下特點。
1、濺射鍍膜的源，即濺射耙是大面積的源，而且耙的尺寸是沒有限制的，因此，可以在大面積的基片上獲得鍍膜均勻的薄膜。濺射耙是固體源，耙在鍍膜室的位置以及耙與基片的相對位置具有較大的靈活性，耙可以水平或豎直放置，耙也可以在基片的上方。下方或側方設置，濺射耙材可以用純金屬復合耙、鑲嵌耙，也可以直接用合金耙。方便地鍍制所需成分的合金薄膜，高熔點材料、絕緣材料均可以作為耙材，直接濺射鍍制其薄膜。
2、濺射鍍膜工藝，由于采用濺射源，其濺射速率與濺射電流成正比，控制濺射的電流和鍍膜時間，就可以方便地控制膜厚，濺射耙的壽命較長，適合工業(yè)化和自動化生產，有利于工藝穩(wěn)定和保證產品質量。
防松螺母濺射鍍膜由于濺射鍍膜具有上述眾多的優(yōu)點，所以其發(fā)展迅速，在各領域已得到廣泛的應用。
(摘自于表面處理手冊)
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