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自鎖螺母濺射鍍膜工藝的鍍前處理、裝件、抽真空等工藝程序與真空蒸鍍基本相同，現(xiàn)就一些特殊部分作一說(shuō)明。
裝件。裝件工序中，鍍膜室的清理和鍍件的裝卡也與真空蒸鍍基本相同。不同的是裝件應(yīng)檢查磁控耙的絕緣情況，屏蔽罩與耙應(yīng)有很好的絕緣性，還應(yīng)注意清理磁控耙表面吸附的磁控塵屑。耙材需要更換時(shí)所使用的工具必須是干凈的，手不能直接接觸耙面，應(yīng)帶脫脂手套，新耙安裝好以后，應(yīng)檢查是否滲水，并在第一次鍍件前對(duì)新耙進(jìn)行一次濺射處理，清楚耙材表面的氧化或污染層。電子在電場(chǎng)有作用下加速飛向基片的過(guò)程中與氬原子發(fā)生碰撞，電離出大量的氬離子和電子，電子飛向基片。
自鎖螺母的濺射鍍膜如果是反應(yīng)濺射，在濺射開(kāi)始的同時(shí)沖入反應(yīng)氣體，并調(diào)節(jié)反應(yīng)氣與氬氣的比例，有許多工件用磁控濺射鍍膜時(shí)不需要烘烤、離子轟擊和冷卻工序。
(摘自于表面處理手冊(cè))
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