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防松螺母濺射鍍膜方法及特點
防松螺母二級濺射，二極輝光放電型濺射鍍膜是濺射鍍膜最簡單的方法，耙陰極為鍍膜材料基片或真空室為陽極，氬氣電離產(chǎn)生的氬離子轟擊陰極耙材料使其濺射，濺射出的耙材原子在基片上沉積形成膜層。
另外，當(dāng)濺射氣體和耙材選定后，對于輝光放電二級濺射鍍膜，可調(diào)整的工藝參數(shù)只有放電電壓、電流和氣體壓強，提高放電電壓，可以提高響應(yīng)的濺射系數(shù)，但一般只能提高2~3倍提高入射離子流密度也是提高濺射速率的方法，但它受輝光放電特性的限制，所以，二級濺射工藝參數(shù)調(diào)整不夠靈活，但由于其結(jié)構(gòu)簡單，尚有一定的應(yīng)用。
防松螺母濺射鍍膜是為了提高轟擊陰極耙的離子流密度，提高濺射速率，降低氣體放電的電壓和降低濺射氣體的壓強，在二級濺射鍍膜的基礎(chǔ)上增加產(chǎn)生熱電子發(fā)射的熱陰極，構(gòu)成三級濺射，三級濺射是在耙與陽極間設(shè)置由鎢絲或柦絲制成的熱陰極。
(摘自于表面處理手冊)
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